GLPC-101空气颗粒计数器
- GLPC-101为管道压力(0.1至0.5 MPa)下的高纯度气体提供可靠的在线污染监测。高科技制造工艺通常需要高纯度气体,该计数器可在管道压力下对工艺气体进行可靠的在线污染监测。GLPC-101使用最新技术直接在高压下监测气体的清洁度,而无需分离器或扩散器的泄压。
产品详情
GLPC-101为管道压力(0.1至0.5 MPa)下的高纯度气体提供可靠的在线污染监测。高科技制造工艺通常需要高纯度气体,该计数器可在管道压力下对工艺气体进行可靠的在线污染监测。GLPC-101使用最新技术直接在高压下监测气体的清洁度,而无需分离器或扩散器的泄压。它通常应用于半导体、电子行业的专用气体。
产品特点
·可以直接用于测试压缩气体,不需要压力分离器或扩散器
·6个粒子通道
·0.1SCFM时的灵敏度为0.1um
·输入管道气体压力为0.1至0.5MPa
·半导体激光光源需要最少的维护
·专为惰性气体设计,易于安装
·提供精确的粒径
·通过通信协议连接到主机,进行全面的数据存储、管理、报告和警报
规格
| 粒径 |
0.1,0.2,0.3,0.5,1.0,5.0μm |
|---|---|
| 体积 | 2.83L/min,自动流量控制(公差<+/-5%) |
| 最大浓度限值 | >3000/FT³ |
| 气体类型 | 压缩空气、氮气、氦气、氖气、氩气等惰性气体。 |
| 压力范围 | 0.1~0.5MPA |
| 计数效率 | >50% AT 0.4μm |
| 光源 | 半导体激光源 |
| 工作温度 | 5℃~35℃,无凝水 |
| 通信 | RS 485 |
| 适配器 | DC 24V |
| 保护箱 | stainless steel |
| 测量 | 220*200*200mm |
| 重量 | 5kg |






